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电容膜片真空计
Sky CDG100D 0.1 ... 1000乇/毫巴
毫米(吋)
110
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8VCR 插座型
INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择.
CDG100D 真空计是在 100°C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有
卓越的性能. 可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的
法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号.
INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的
讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG
是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体,等离子和真空应用.
益处
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拥有成本低, 预热快50%,能效高,功耗低
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易集成,规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点
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简易的一键按钮或运距讯号调零指令,零点偏移可调整
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诊断端口用于快速检修和维护
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两年保用期,带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命
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由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中
也无长期再校准的需要
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合规性与标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途
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刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程
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化学和腐蚀性的高温过程
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一般薄膜和真空过程要求的真空计保护