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(1)一个不锈钢箱体,箱体尺寸不小于:1200mm×780mm×900mm,箱体材质为SUS304不锈钢,厚度≥3mm;泄漏率:小于0.02vol%/h;双过渡舱进出物料,工具舱一个;
(2)箱体内设置喷淋系统,高压冲洗装置;
(3)水含量小于1ppm;
(5)集水可通过底部排水阀排放盛接;
(7)控制系统,可自动控制箱体压力±12mbar,具有泄漏率监测、自动报警等功能;具有系统历史数据自动记录和显示功能;