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米洛干涉镜
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技术指标:
1.  视场范围(变焦)0.4mm x 0.34mm

       2.     工作距离3.4mm

       3.     空间采样(变焦)0.176µm;

       4.     物镜分辨率0.5µm;样品最大倾角25°

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