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带重氟油5kg，轻氟油30kg。
HF-6 氟油平台产品介绍
HF-6 氟油平台产品介绍
一、 概述
HF-6 氟油平台是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套检漏装 置。该设备的氮气罐上装有液位检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。采用电路互锁装置，界面直观，操 作简便、稳定性好。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过 程。
HF-6 氟油平台是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套检漏装 置。该设备的氮气罐上装有液位检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。采用电路互锁装置，界面直观，操 作简便、稳定性好。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过 程。
二、 技术特性
1.加压罐本底真空度优于 50Pa
2.真空测量： 电阻规
3.充气压力： ≤0.8MPa
4.重氟油加热仪加热温度：125℃±5℃
5.电压： 220VAC±10％ 50Hz
6.仪器功率： 1.5KW (包含重氟油加热仪功率：0.5KW)
7.照明灯：LED 220VAC 3W×2
1.加压罐本底真空度优于 50Pa
2.真空测量： 电阻规
3.充气压力： ≤0.8MPa
4.重氟油加热仪加热温度：125℃±5℃
5.电压： 220VAC±10％ 50Hz
6.仪器功率： 1.5KW (包含重氟油加热仪功率：0.5KW)
7.照明灯：LED 220VAC 3W×2
8.尺寸：
外 形 尺 寸：L1100×W760×H1000mm
氦、氮气罐体:φ256mm×H252mm
重 氟 油 箱:L240mm×W165mm×H180mm