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透射电镜(Transmission Electron Microscope,TEM),全称透射电子显微镜,是把经加速和聚集的电子束投射到超薄切片的样品上(通常70-90nm),电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。是一种高分辨率(0.1nm-0.2nm)、高放大倍数(0.2K-600K)的显微镜。是观察和研究物质超微结构的强有力工具。
扫描电镜(scanning electron microscope,SEM),是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 [3]。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富,几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。